- 新品推薦
- 靜電系列
- 脈沖發(fā)生器
-
功能材料系列
-
紅外光纖激光測(cè)振儀
-
高溫介電溫譜測(cè)試儀
-
儲(chǔ)能新材料電學(xué)綜合測(cè)試系...
-
熱釋電系數(shù)測(cè)試儀
-
高低溫冷熱臺(tái)
-
50點(diǎn)耐壓測(cè)試系統(tǒng)
-
閉孔溫度破膜溫度測(cè)試儀
-
鋰離子電池隔膜電弱點(diǎn)測(cè)試...
-
多通道介電/電阻測(cè)試模塊
-
壓電系數(shù)測(cè)試儀
-
探針臺(tái)
-
高壓薄膜極化裝置
-
功能材料電學(xué)綜合測(cè)試系統(tǒng)
-
阻抗分析儀
-
電介質(zhì)充放電系統(tǒng)
-
半導(dǎo)體封裝材料TSDC測(cè)...
-
高溫絕緣電阻測(cè)試儀
-
鐵電測(cè)試系統(tǒng)
-
鐵電分析儀
-
紅外光纖激光測(cè)振儀
- 功率放大器系列
- 功能材料試驗(yàn)設(shè)備
-
工程塑料絕緣材料系列
-
絕緣材料測(cè)試儀器
-
高頻高壓絕緣電阻、介電測(cè)...
-
塞貝克系數(shù)電阻測(cè)試儀
-
介質(zhì)損耗分析系統(tǒng)
-
傳感器多功能綜合測(cè)試系統(tǒng)
-
絕緣電阻劣化（離子遷移）...
-
變溫極化耐擊穿測(cè)試儀(高...
-
電容器溫度特性評(píng)估系統(tǒng)
-
耐壓絕緣測(cè)試儀
-
空間電荷測(cè)量系統(tǒng)
-
表面、體積電阻率測(cè)試儀(...
-
耐電弧試驗(yàn)儀
-
電壓擊穿試驗(yàn)儀
-
工頻介電常數(shù)測(cè)試儀
-
低壓漏電起痕試驗(yàn)儀
-
半導(dǎo)體封裝材料TSDC測(cè)...
-
絕緣材料電阻評(píng)價(jià)平臺(tái)
-
長(zhǎng)期耐腐蝕老化試驗(yàn)平臺(tái)
-
絕緣診斷測(cè)試系統(tǒng)
-
導(dǎo)電與防靜電體積電阻率測(cè)...
-
絕緣材料測(cè)試儀器
- 儲(chǔ)能科學(xué)與工程試驗(yàn)設(shè)備
- 附件及配件
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
四探針電阻率又名方塊電阻測(cè)試儀，主要用于測(cè)量電阻率及方塊電阻（只測(cè)量非金屬薄膜，避免設(shè)備污染）。提供自動(dòng)計(jì)算機(jī)量測(cè)的四點(diǎn)探針阻值量測(cè)機(jī)臺(tái)。快速，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測(cè)也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機(jī)臺(tái)可使用Front End，zui多擴(kuò)充3個(gè)量測(cè)單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。
詳情介紹：
CDEResMap四探針電阻率/方塊電阻測(cè)試儀
一、四探針電阻率產(chǎn)品介紹
四探針電阻率又名方塊電阻測(cè)試儀，主要用于測(cè)量電阻率及方塊電阻（只測(cè)量非金屬薄膜，避免設(shè)備污染）。提供自動(dòng)計(jì)算機(jī)量測(cè)的四點(diǎn)探針阻值量測(cè)機(jī)臺(tái)。快速，jing確與軟件控制下針、軟件功能可化下針壓力，即使薄片量測(cè)也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機(jī)臺(tái)可使用Front End，zui多擴(kuò)充3個(gè)量測(cè)單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。
二、四探針電阻率技術(shù)參數(shù)
1薄膜電阻測(cè)量范圍: 10-5Ω.cm~105Ω.cm
2方塊電阻測(cè)量范圍:10-3Ω/□至106Ω/□
3晶片直徑: 50至200mm,可測(cè)量不規(guī)則硅片
4具有2D、3D Mapping的數(shù)據(jù)分析功能。
5具有測(cè)試數(shù)據(jù)自動(dòng)導(dǎo)出功能。
三、四探針電阻率典型應(yīng)用
1非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量；
2選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；
3表面鈍化片；
4交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；
5電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測(cè)量等
