一、Huace-600高溫四探針測(cè)試儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介

       ●Huace-600高溫四探針測(cè)量系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻 以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
      ●采用由四端測(cè)量方法測(cè)試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱為一體的高溫測(cè)試系統(tǒng)，滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的 測(cè)量要求，通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測(cè)量導(dǎo)電材料電阻和電阻率，可以分析被測(cè)樣的電阻和電阻率隨溫度、 時(shí)間變化的曲 線． 目前主要針對(duì)圓片、方塊、長(zhǎng)條等樣品進(jìn)行測(cè)試，可以廣泛用于碳系導(dǎo)電材料、 金屬系導(dǎo)電材料、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測(cè)量。 過(guò)的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線。




二、Huace-600高溫四探針測(cè)試儀特點(diǎn)

●可以測(cè)量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；
●軟件、觸摸屏、高溫爐等集成于一體，可以進(jìn)行可視化操作；
●可實(shí)現(xiàn)純凈氣氛條件下的測(cè)量；同時(shí)保證探針在高溫下不氧化；
●采用labview軟件開(kāi)發(fā)，操控性、兼容性好、方便升級(jí)；
●可自動(dòng)調(diào)節(jié)樣品測(cè)試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象；
●控溫和測(cè)溫采用同一個(gè)傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度；
●可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；


三、Huace-600高溫四探針測(cè)試儀參數(shù)規(guī)格

●測(cè)量溫度：室溫－－-600°C ;
●控溫精度：±1℃ 
●顯示精度：±0.1℃
●升溫斜率：1-5°C/min
●測(cè)量精度：0.05%
●電阻率：10^-5 ～10⁵ Ω.cm 
●電導(dǎo)率：10^-5 ～10⁵ s/cm
●方塊電阻：10^-4 ～10⁶ Ω/□
●電阻：10^-5 ～10⁵ Ω
●探針間距：2±0.01mm
●探針壓力：0~2kg可調(diào)
●針間絕緣電阻：≥1000MΩ
●真空腔體漏率標(biāo)準(zhǔn)要小于10^-9 Pam³/s
●樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm
●設(shè)備尺寸：680mmX450mmX400mm