真空探針臺
型號:HuaceZ600-D
精密小巧按需定制集成化設(shè)計性能穩(wěn)定
測試類型： R-T ，C-V， I-V，R-I，Cp-D,ε測試
搭配儀器：源表、高阻計、直流低電阻測試儀、阻抗分析儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、
腔體:高真空腔體
樣品臺尺寸:4英寸
樣品固定:彈簧壓片
觀察窗口:6英寸
觀察窗口材質(zhì)：藍寶石（保證紫外光的透過性）
真空度:2帕
探針臂接口:4個探針臂接口
電學(xué)測試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1
輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護氣接口、表面溫度熱電阻接口*2
制冷方式:液氮
溫度范圍:-196℃~600℃
溫控精度:±0.1℃
穩(wěn)定性:-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃
外形:650mm長*650mm寬*460mm高
重量:約100千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型:單筒顯微鏡
放大倍率:20X-180X
移動行程: X軸行程100MM Y軸行程50MM Z軸行程50mm
光源:外置LED環(huán)形光源
CCD:2800萬像素
顯示器:10寸LED
探針臂
X-Y-Z移動行程:20mm*20mm*20mm
結(jié)構(gòu):外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動精度:10微米
探針組件
線纜:同軸線
接頭類型:SMA
漏電精度:10fA
固定探針:夾緊固定
頻率支持:DC-67GHZ
針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高壓組件
線纜:高壓電纜10KV
接頭類型:香蕉頭
其他組件
真空組件:機械泵
冷源組件:10L液氮罐
