探針臺

產品優勢

1.寬溫度范圍

-190°C至600°C；可編程控溫（負溫需配液氮制冷系統）。

2.低電噪聲

該控制器采用可編程精度的LVDC PID方法來小化電噪聲。

3.電氣探頭與手動定位

手動懸臂探頭可以單獨定位到樣品區域的任何點位置。

4.氣密室

密封室允許惰性氣體清洗或除霜，以防止凝結和氧化。密封室也可用于控制樣品周圍的大氣，用于濕度研究或惡劣環境測試。具有快速連接氣體端口和可更換的橡膠密封件。

5.精度和穩定性

熱塊內嵌入pt100鉑RTD傳感器，確保高溫精度和穩定性。RTD傳感器被校準，以測量樣品加熱塊表面的溫度-提供盡可能接近和準確的樣品讀數。

6.控制

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK。

產品參數

1. 溫控參數

1.1溫度范圍：-190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統）

1.2傳感器/溫控方式：100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源）

1.3加熱/制冷速度：+80℃/min （100℃時） -50℃/min （100℃時）

1.4加熱/制冷速度：±0.01℃/min

1.5溫度分辨率：0.01℃

1.6溫度穩定性：±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

1.7軟件功能：可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

2. 電學參數

2.1探針：默認為錸鎢材質的彎針探針*可選其他種類探針

2.2探針座：杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好

2.3點針：手動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置

2.4探針接口：默認為BNC接頭，可選三同軸接口

2.5樣品臺面電位：默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口

2.6霍爾測試：臺體為非磁性材料制作，可用于變溫霍爾效應測試

3. 光學參數

3.1適用光路：反射光路*另有透射光路型號

3.2窗片：可拆卸與更替的窗片

3.3物鏡工作距離：8.5 mm *截面圖中WD

3.4上蓋窗片觀察：窗片范圍φ38mm，大視角±60.7° *截面圖中θ1

3.5負溫下窗片除霜：吹氣除霜管路

3.6霍爾測試：臺體為非磁性材料制作，可用于變溫霍爾效應測試

適用范圍

廣泛應用于復雜、?高速器件的電氣測量的研發，?旨在確保質量及可靠性，?并縮減研發時間和器件制造工藝的成本，主要包括半導體行業、?光電行業、?集成電路以及封裝的測試。